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電子行業(yè)綠色工廠標(biāo)準(zhǔn)解讀之一:多晶硅制造業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)要求


多晶硅制造業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)要求-星拓行業(yè)資訊.jpg


    多晶硅是由一種硅源氣體經(jīng)化學(xué)氣相沉積生成的結(jié)構(gòu)上具有大角度晶粒間界、孿晶間界或兩種結(jié)構(gòu)兼有的硅多晶,多晶硅是一種生產(chǎn)使用量大面廣的半導(dǎo)體電子原材料,在光伏行業(yè)、集成電路制造等領(lǐng)域中發(fā)揮著重要基礎(chǔ)作用。《多晶硅制造業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)要求》(T/CESA 1082-2020)(以下簡(jiǎn)稱“本標(biāo)準(zhǔn)”)規(guī)定了多晶硅制造業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)的原則、方法、指標(biāo)體系及要求、程序和報(bào)告等,適用于對(duì)運(yùn)用三氯氫硅法和硅烷法生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品的工廠進(jìn)行評(píng)價(jià),運(yùn)用其他工藝方法的工廠可參照使用。 

    本標(biāo)準(zhǔn)圍繞《綠色工廠評(píng)價(jià)通則》(GB/T 36132)及《電子信息制造業(yè)綠色工廠評(píng)價(jià)導(dǎo)則》(SJ/T 11744)中規(guī)定的基本要求,以及基礎(chǔ)設(shè)施、管理體系、能源資源投入、產(chǎn)品、環(huán)境排放、績(jī)效等6個(gè)一級(jí)指標(biāo)展開(kāi),充分考慮多晶硅產(chǎn)品制造業(yè)的特征特性,進(jìn)一步細(xì)化了27個(gè)二級(jí)指標(biāo),涉及103個(gè)具體要求。如,工廠使用的多晶硅還原爐等專用設(shè)備應(yīng)符合產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入要求,降低能源與資源消耗,減少污染物排放;工廠應(yīng)投入與副產(chǎn)物四氯化硅處理量相匹配的冷氫化裝置,使副產(chǎn)物四氯化硅得到有效處理,并投入適宜的其他污染物處理設(shè)備,以確保其污染物排放達(dá)到相關(guān)法律法規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)要求;工廠應(yīng)在多晶硅產(chǎn)品設(shè)計(jì)中引入生態(tài)設(shè)計(jì)的理念,宜按照《綠色設(shè)計(jì)產(chǎn)品評(píng)價(jià)技術(shù)規(guī)范 多晶硅》(T/CNIA 0021)開(kāi)展綠色設(shè)計(jì)產(chǎn)品評(píng)價(jià);工廠生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品品質(zhì)應(yīng)滿足《電子級(jí)多晶硅》(GB/T 12963)或《太陽(yáng)能級(jí)多晶硅》(GB/T 25074)等規(guī)定的技術(shù)要求等。 

    為保證評(píng)價(jià)工作可操作性,本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)“用地集約化、原料無(wú)害化、生產(chǎn)潔凈化、廢物資源化、能源低碳化”5項(xiàng)綠色工廠績(jī)效指標(biāo)進(jìn)行細(xì)化和分級(jí),將多晶硅產(chǎn)品生產(chǎn)制造工廠的綠色績(jī)效水平分為3個(gè)級(jí)別,并給出不同績(jī)效水平對(duì)應(yīng)的指標(biāo)要求和評(píng)價(jià)得分。如,明確多晶硅制造業(yè)“廢物資源化”對(duì)應(yīng)的“單位產(chǎn)品硅粉用量”指標(biāo)要求分別為≤1.1t/t(1級(jí))、≤1.2t/t(2級(jí))、≤1.4t/t(3級(jí));“能源低碳化”對(duì)應(yīng)的“單位產(chǎn)品綜合能耗”指標(biāo)要求分別為≤11.5tce/t(1級(jí))、≤12tce/t(2級(jí))、≤13tce/t(3級(jí))等。 

    亞洲硅業(yè)(青海)、新特能源、內(nèi)蒙古通威等企業(yè)參與了本標(biāo)準(zhǔn)的研制和驗(yàn)證。



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